隨著半導(dǎo)體制造工藝的發(fā)展，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求越來(lái)越高，潔凈度達(dá)到千級(jí)百級(jí)。在以往人們只注意顆粒物的過(guò)濾處理，忽視了分子級(jí)的氣態(tài)污染物（AMC）的處理。AMC中的酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)物、難熔性有機(jī)物和摻雜性有機(jī)物之間產(chǎn)生不必要的化學(xué)反應(yīng)，影響晶圓表面和工藝設(shè)備的光學(xué)器件，從而在芯片生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生不良品，降低機(jī)臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)效率。然而高效HEPA或超高效ULPA粒子過(guò)濾器根本無(wú)法過(guò)濾掉有害氣體。
半導(dǎo)體制成需要使用各種化學(xué)工藝氣體，這些氣體也會(huì)隨著工藝的過(guò)程，由真空泵從反應(yīng)腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣；大量的酸、堿等化學(xué)品以及有機(jī)溶劑和揮發(fā)性液體等在半導(dǎo)體制成的不同工藝中使用，也產(chǎn)生有毒有害廢氣，半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家需要對(duì)工藝廢氣進(jìn)行有效的處理才能排入大氣中，確保安全的工作環(huán)境，保護(hù)周邊環(huán)境的安全。
來(lái)源于工藝流程中使用各種酸液對(duì)芯片的腐蝕、清洗過(guò)程以及擴(kuò)散等工序，主要污染物為氟化物、氯化氫、氮氧化 物、硫酸霧等
來(lái)源于使用氨水、氨氣的刻蝕工序，主要污染物為NH3；有機(jī)廢氣：來(lái)源于清洗、勻膠、去膠、刻蝕、顯影工序使用有機(jī)溶劑清洗過(guò)程，主要成份為異丙醇、光刻膠等有機(jī)物
來(lái)源于擴(kuò)散、離子注入和CVD 等工序使用的特殊氣體，如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等，除部分在工藝中反應(yīng)消耗外，其余均以尾氣的形式排放
蝶萊半導(dǎo)體廠房廢氣處理裝置是非常高效的廢氣處理裝置，用于高效處理半導(dǎo)體制成產(chǎn)生的各種有毒有害廢氣，也可以與其他過(guò)濾系統(tǒng)配合使用作為精過(guò)濾段，過(guò)濾后的氣體濃度可以達(dá)到嚴(yán)格空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，廣泛應(yīng)用于微電子行業(yè)設(shè)施及工廠，滿足最嚴(yán)格的排放和法規(guī)要求。
在MAU (新風(fēng)空調(diào)箱) 內(nèi)加裝化學(xué)過(guò)濾器
在FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組)上方加裝化學(xué)過(guò)濾器
在室內(nèi)放置化學(xué)空氣凈化機(jī)
在MAU (新風(fēng)空調(diào)箱) 內(nèi)加裝化學(xué)過(guò)濾器，過(guò)慮器內(nèi)加載干式化學(xué)過(guò)濾材料, 高效吸收凈化有害氣體。
在 FFU (風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組) 上方加裝化學(xué)過(guò)濾器，過(guò)慮器內(nèi)加載干式化學(xué)過(guò)濾材料，高效吸收凈化有害氣體。
在潔凈室中使用蝶萊空氣凈化機(jī)，內(nèi)部使用了化學(xué)過(guò)濾器和HEPA過(guò)濾器，高效吸收凈化有害氣體，可以有效保證制程環(huán)境潔凈度。
比普通活性炭更強(qiáng)的吸附能力，更長(zhǎng)的使用壽命。
化學(xué)吸附并反應(yīng)，不可逆轉(zhuǎn)，產(chǎn)生無(wú)毒無(wú)害物質(zhì)
比一般的活性炭能夠去除更廣譜的氣態(tài)污染物
| 對(duì)比 | 普通過(guò)濾技術(shù) | 化學(xué)過(guò)濾技術(shù) |
|---|---|---|
| 濾料 | 活性炭 | PureAir過(guò)濾材料 |
| 工作原理 | 物理吸附 | 化學(xué)吸附和反應(yīng) |
| 是否逆轉(zhuǎn) | 可逆轉(zhuǎn)，產(chǎn)生臭味 | 不可逆轉(zhuǎn)，無(wú)異味，轉(zhuǎn)化為無(wú)害固件 |
| 可除污染物 | VOCs（乙苯，二甲苯）、臭氧，對(duì)許多污染物無(wú)效 | 甲醛、二氧化硫、硫化氫等異味氣態(tài)污染物 |
| 物理特性 | 人造產(chǎn)品、無(wú)毒、可燃物質(zhì)、在潮濕環(huán)境中易滋生微生物 | 定制產(chǎn)品、無(wú)毒無(wú)害、阻燃（UL認(rèn)證）、防止細(xì)菌和真菌滋生 |
| 使用成本 | 單價(jià)便宜，但過(guò)濾效率低，更換周期短，經(jīng)常更換，多事費(fèi)力 | 單價(jià)較高，但過(guò)濾效率高，更換周期長(zhǎng)，如硫化氫處理量為普通活性炭23倍 |
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